|
Laser Edge Isolation system
|
³ôÀº »ý»ê¼º : 2,400 wafers / hour
°ËÁõ µÈ ·¹ÀÌÀú Ç°Áú
¿©·¯ Á¾·ùÀÇ Cell Á¢¸ñÀÌ °¡´ÉÇÑ ÀåºñÀÇ À¯¿¬¼º
°í°´ Ä£ÈÀûÀÎ ÆĶó¹ÌÅÍ ¼ÂÆÃ
°íÇØ»óµµ Ä«¸Þ¶ó¸¦ ÅëÇÑ CellÀÇ Á¤È®ÇÑ Á¤¹Ð Á¶Á¤
¾ÈÁ¤ÀûÀÎ Àåºñ ¿î¿ëÀ¸·Î ÀÎÇÑ Ã¶ÀúÇÑ Cell ÆÄ¼Õ ¹æÁö
MES Solution (LOT Á¤º¸, Error µ¥ÀÌÅÍ, SPC µî.,)
|
|
|
*
º» Á¦Ç°¿¡ ´ëÇØ Çѹ̹ݵµÃ¼¢ß´Â »ê¾÷Àç»ê±Ç °ü·Ã¹ý¿¡ ÀÇÇÑ º¸È£¸¦ ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|